標準粒子發生裝置 255
氣體塵埃粒子計數器的校正程序 • 校正所需設備 • 100 級潔凈房或潔凈臺 • 一臺用于作對比，尚在校正期內的塵埃粒子計數器，如 Metone3400 • 各粒徑的標準粒子，如 0.3um ; 0.5um ; 1um 等等 • 標準粒子氣體產生器，如 Model 255 • 可產生脫離水（ DI 水）的純水系統或類似裝置 • 其它普通電器，如 220V 電源插座，萬用表等等 。
校正的基本原理
標準粒(li)(li)(li)子(zi)(zi)（如(ru) 0.301um ）通過(guo)(guo) 255 粒(li)(li)(li)子(zi)(zi)產生器由液狀霧(wu)化(hua)成氣體，并由其(qi)內(nei)置泵(beng)通過(guo)(guo) 0.2um 的過(guo)(guo)濾器后的干燥氣體進(jin)(jin)入(ru)取樣(yang)(yang)管路，這時，將兩臺(tai)相同(tong)塵埃粒(li)(li)(li)子(zi)(zi)計數器同(tong)時或先(xian)后對取樣(yang)(yang)管進(jin)(jin)行(xing)抽樣(yang)(yang)測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)，并比校 0.3um 粒(li)(li)(li)徑的測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)值。如(ru)果其(qi)平均(jun)值在(zai) 20% 以內(nei)，認為合(he)格。如(ru)果不同(tong)型號的粒(li)(li)(li)子(zi)(zi)計數器，一定要(yao)弄清楚(chu)其(qi)流速，取樣(yang)(yang)時間，取樣(yang)(yang)次數等參(can)數，并且，還要(yao)明白(bai)怎(zen)樣(yang)(yang)理(li)解其(qi)測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)結果。
三 . 校(xiao)正的基本步驟：
現假設對一臺常見的 Metone227B 作校正
• 首先(xian)，要(yao)清楚 Metone3413 和(he) Metone227B 有(you)何差別，其(qi)測試原理一樣，但(dan) Metone3413 流速為(wei)(wei) 1CFM （立方英尺(chi) / 分(fen)鐘），而 Metone227B 則為(wei)(wei) 0.1CFM 。
• 首先，請將潔凈臺開機，工(gong)作(zuo)半小(xiao)時，其間內也打開 Metone227B 和 Metone3413 ，讓其預熱半小(xiao)時。
• 準備好(hao) 255 的(de)取樣器管，并搭接好(hao)其所有(you)氣體管路(lu)。
• 將配好的標準液（如 0.301um ）放(fang)入脫原子(zi)瓶(ping)中，注意勿(wu)讓液體超(chao)過(guo)噴嘴(zui)。
• 設置 Metone3413 和 Metone227B 的基本參數
• 取樣時(shi)間都設置為 00 ： 01 ： 00
• 取樣次數都設置 03
• 取樣模式(shi)都設(she)置為 Auto
• 間隔時間都設置為 00 ： 00 ： 05
• 讀數模(mo)式(shi)都設置(zhi)為(wei) Cumulative
注(zhu)：以上設置相同(tong)，因其流速有 10 倍(bei)差，故 Metone3413 測試結果(guo)會是 Metone227B 的(de) 10 倍(bei)。
• 此時，打開(kai) 255 電源，調節(jie)脫原子氣體閥(fa)和干(gan)燥氣體閥(fa)，在(zai)調至(zhi)噴嘴(zui)閥(fa)處(chu)呈氣霧出現，干(gan)燥氣體流速計約 60SCFH 時后，保持(chi)其工(gong)作狀態。
• 此時，讓 Metone227B 和 Metone3413 同時工(gong)作，看其三次(ci)的平(ping)均結果，若在(zai) 20% 以(yi)內(nei)，視為合(he)格。
• 拆下(xia)脫(tuo)原(yuan)子瓶，重新滴入其它標準粒子，重復該測試。
• 以上校正只是對比校正，尚可用萬用表對其基本參數測量，用示波器對其信號捕捉等來輔助調校。